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第492章 从飞行者到B-52 (3/3)
会议室里安静下来。
“今天,昆仑-0机,跑通了。”刘星海教授仿佛又确认了一遍,“首长走之前,让我转达几句话。第一,首长说,同志们做了一件了不起的事。第二,首长说,从今天起,中国人有自己的向量计算机。第三,首长要求,立即启动昆仑-1机的建设工作,三年内建成。”
他翻开面前的黑皮本子,看了一眼,又合上。
“昆仑-1的事,我们等会儿再议。现在,各组汇报一下工作进展。”
王先生最先汇报,他拿出一沓资料,放在桌上。
“光刻组汇报,2微米光刻机,已经完成实验室验证。投影式光刻系统,镜组设计完成,镜头磨出来了,分辨率实测2微米,套刻精度±0.5微米。深紫外光源的稳流电源,西军电那边已经交付,稳流精度千分之一。整机正在总装,预计明年一季度交付6305厂。”
他顿了顿,又补充了一句:“下一代光刻机已经在预研,目标是1微米。”
台下有人轻轻吸了一口气。
接下来是陈光远:“6305厂产线良率稳定在75%,月产1200片。新产线洁净区验收进入最后阶段,class
96洁净等级,按2微米工艺设计,月产1000片。”
半导体所的王守仁:“材料组汇报,区熔级锗单晶,已经能稳定生产。纯度7n,位错密度每平方厘米100以下。硅单晶的区熔提纯,也跑通了。6n纯度,达到设计要求。高纯金线、铝线,昆明贵金属所那边能量产了。电子级化学品方面,上海试剂总厂的氢氟酸、硝酸、缓冲液,金属离子含量控制在10ppb以下。光刻胶,环化橡胶-双叠氮体系,分辨率2微米,能满足当前需求。”
他顿了顿:“有一个问题,光刻胶的批间稳定性不够。这一批和下一批,性能有差异。感光所、上海试剂总厂等单位正在联合攻关。”
刘星海点点头,在本子上记了几笔。
第四个汇报的是哈工大的包康建教授。
“机械组汇报。光刻机工件台,已经完成高频脉冲电机加压电陶瓷微位移器的集成。步进精度,实验室数据,0.1微米。下一步要做的是,把这个精度稳定下来,从实验室搬到生产线上。”
接下来是上海有机所的郑教授、西军电的秦世襄、武水院的程教授、兰州物理研究所的岳伴教授……
一个一个站起来,一个一个汇报。
进展很多,问题也不少。
但总的气氛是积极的,向上的。
吕辰坐在后排,一页一页地翻着笔记本,把各组的关键数据记下来。
下午四点,所有组汇报完毕。
刘星海站起来总结道:“各组的工作进展,我都听了。此外,我也给大家汇报一个好消息,我们第一批发布的791项技术清单,经过三年多的攻坚,也基本达到设计要求。”
他顿了顿,提高声音:“也就是说,星河计划的第一阶段,技术补课,我们基本完成了。”
“2微米光刻机,2微米光刻胶,6n硅单晶,10ppb超纯试剂,0.1微米工件台精度,75%的芯片良率,昆仑-0验证机,编程机,显示控制芯片……这些成果,放在五年前,谁敢想?”
他看着台下:“但这不是终点,技术补课完成了,下一步是什么?”
他自问自答:“是领跑!从补课到领跑,就是星河计划第二阶段的目标。”
弯腰从桌上拿起笔记本:“下面,我宣布第二批任务清单的制订要求。”
他翻开黑皮本子,一页一页地念。
“第一条,从补课到领跑,深化国产替代。”
他看着台下:“第一批任务,我们解决了有没有的问题。第二批任务,就要解决好不好的问题。光刻机,2微米做出来了,但稳定性呢?套刻精度呢?生产效率呢?封装,还是手工焊线。材料,光刻胶批间稳定性不够。检测设备,全靠人眼。这些短板,要一条一条补上。”
他又翻开一页:“第二条,从单点突破到系统集成。”
“6305厂的新产线,明年要投产。但产线本身,需要大量配套技术支撑。工艺稳定性怎么保证?洁净环境怎么维持?芯片测试怎么搞?动力保障怎么跟上?这些事,不是6305厂一家能解决的,需要全星河计划的力量。”
他抬起头,目光扫过全场:“工艺达到了,我们就要为量产铺路,为良率护航。”
“第三条,从军品优先到军民兼顾。军品优先,民用补充,产业同步发展。这是国家给我们定的调子,要落到实处。军用芯片,要继续保、继续攻。但民用市场,也要拓展。集成电路和星河计划,不能永远靠国家养着,得有自己的造血能力。”
他喝了口水,继续念:“第四条,从消化吸收到自主创新。2微米光刻机基本成功了。但技术团队不能停步。要前瞻布局,要在现有成果基础上,向微米级以下进军,向新型架构进军。亚微米技术预研、新型器件研究、计算架构探索、战略技术储备。这些事,现在就得开始做。”
他把本子合上,看着全场。
“总结一下。第二批任务清单,要助推星河计划从技术突破阶段,向‘产业落地+系统集成+前瞻布局’三位一体转型。”
“我们要向下扎根,为6305厂新产线配套,解决量产中的工艺、设备、材料、测试问题。”
“要向上生长,以昆仑工程为牵引,布局下一代计算系统的芯片技术。”
“要向外拓展,构建民用产品线,形成产业自我造血能力。”
“向前布局,预研亚微米技术、新型器件,保持技术领先。”
他提高声音:“同志们,昆仑-0跑通了,这是过去两年的成绩。但成绩属于过去。下一步,是昆仑-1,是2微米到1微米,是产业落地,是系统集成,是前瞻布局。”
“路还很长。但我们已经走在路上了。”
会议室里安静了几秒。
然后,掌声响起来。
这一次的掌声,没有上午那种激动和亢奋,而是一种沉稳的、坚定的力量感。
像是一支军队打完了第一场仗,正在清点弹药、包扎伤口、准备下一场战斗。
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