第393章 从破烂中建立秩序 (3/4)

“专线的容量要多大？”吕辰问。

“算上所有设备的峰值功率，再加30%余量，”周教授快速心算，“大概50千伏安。”

“审批流程至少半个月，”电工师傅皱眉，“时间来不及。”

“那就先建临时解决方案，”吴国华提出折中，“咱们给电子耳朵系统备用的超级电容模块，先拿几个来，做个大容量的动态电压补偿装置。今晚接线，明天就能上。先顶一阵，专线同步申请。”

电源问题刚有眉目，温湿度控制又出状况。

准洁净区要求温度23±2°c，湿度45±10%rh。

但车间没有中央空调，只有几台老旧的工业风扇。

暖通李工设计了一套简易方案，用一台二手的水冷空调机组，布置在车间外，通过保温风管向准洁净区送风。加湿器直接放在区内。

试运行第一天，问题来了。

空调机组一启动，整个地面都在微微震动。

放在光刻机平台上的水杯，水面泛起细微的涟漪。

“振动太大了！”老周摇头，“光刻机无法对准。”

“空调机组必须做减振基础，”梁先生团队的建筑师赶到现场，“在机组下面做混凝土惯性块，块体与地面之间加橡胶减振垫，风管改用软连接，加装消声器。”

“这要增加多少预算？”陈光远问。

“大概八百块钱。”

“批了，”陈光远签字，“但我要在一周内看到效果。”

“一周不够……”

“那就加班，”谢凯平静地说，“我陪你们一起。”

那一周，车间里的灯每晚都亮到深夜。

机修车间的老师傅们展现了惊人的创造力，没有标准的橡胶减振垫，就用报废卡车轮胎切割改造；没有软连接专用件，就用帆布风管中间夹钢丝圈自制；消声器买不到，就用穿孔板加玻璃棉现做。

吕辰、谢凯、吴国华等人跟着老师傅们打下手，扛材料、递工具、清理现场。

手掌磨出了水泡，工装沾满油污，但没人离开。

第七天晚上十点，减振改造完成。

空调机组再次启动。

这一次，把水杯放在光刻机平台上，水面平静如镜。

老周透过显微镜观察硅片上的对准标记，良久，抬起头，露出笑容：“成了！振动控制在允许范围内！”

车间里响起一阵疲惫但由衷的欢呼。

随着安装调试的深入，各种“跨界”冲突层出不穷。

化学安全实操区需要大量通风，但为了保持准洁净区的正压，希望尽可能减少换气次数。

“这是安全与洁净的矛盾，”化工专家在协调会上直言，“存放化学品的区域，必须保证足够的通风换气次数，否则一旦泄漏，后果不堪设想。”

“但过多的新风会影响洁净区的温湿度和颗粒物浓度。”

双方争执不下。

最终决定，把化学安全实操区移到准洁净区的下风向，并用实体墙完全隔开。

两个区域各自独立送排风，互不干扰。

化学区保持高换气次数，洁净区保持正压和低换气次数。

这个方案让风管布置的复杂度直线上升。

但再复杂也要做，在安全面前，其他都要让步。

建筑团队连夜修改图纸，增加了隔离墙和独立的风管系统。

另一个冲突发生在设备操作流程上。

老周坚持光刻操作必须严格按照“手感”来，对焦时先粗调、再微调，转动旋钮要“轻、慢、匀”；曝光时间要凭经验估算，因为这光刻机没有定时器。

但谢凯希望把一切“数据化”，对焦应该用千分表测量距离，曝光时间应该用秒表精确控制。

“你那套太死板！”老周不满，“芯片生产是手艺活！手感！感觉！这些数据教不出来！”